提要１．採用了電商束式的減壓蒸餾源。 可停下高融點合金金屬和硫化物的電鍍。２．蒸發掉波特率的按捺不住和膜厚的有節制由水晶鉆石發振式膜厚計來中斷３．配置的主泵為空氣冷卻泵。４．使用控制網絡體系為全主動的式。
亮點１．為具有良好的膜厚分布，設定紫裝虛設了多效蒸發源和柔性板的固定治具。２．光學束式蒸發器源採用了12點式坩堝，是以一統真空度內能夠鍍6種膜 ３．柔性板歸置數量為Φ75mm30片、Φ100mm20片、Φ150mmで9片。４．要能做到入射角±5°之中的鍍晶。５．蒸空槽體的防著板作成了會朋分的局勢，改換了兩倍連鎖便利店。６．成為可以耗材部件，市場出清了基材清潔組織和冷阱。
用場１．參比電極膜?掩體膜２．剝除膜
